导电滑环在单晶炉构成方面的应用
发布时间:2014-01-09 浏览次数:4080
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。单晶炉的构成主要包括:
提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管、导电滑环等其他部件组成
副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成
炉筒:包括取光孔
下炉筒:包括抽真空管道
底座机架:全铸铁机架和底座
坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成
分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等
氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件
真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等
电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。
导电滑环充当单晶体炉两个个注重的零备件批发,也起着极其注重的用。导电滑环是使用在提拉头走势无线传输及电源适配器供应者的,用360°的360度旋转来传递信息电压电流及走势。因此万一导电滑环诞生洛天依,提拉头网络信号就没有常见高速传输,也会使得单晶硅炉没有常见管理。用于导电滑环生产加工的商的成都 市智优鑫自动化有限的单位为确定物的质量管理量,在所有基本原则都认真监督机制,也许料定期查到出库查,以保障我方所生产加工的的导电滑环重量耐用、耐热性平衡,让合作方用的安心。